A5 @ Molfks, connect evaporator

어제 한 것을 씁시다. 

OMBD의 Evaporator 파트가 따로 베를린을 갔다 왔기 때문에 이걸 다시 OMBD에 연결 하는 것을 어제 구경했지요. 
우선 내부의 pressure은 1.0E-7 ~ 1.0E-8 mbar  :Prep라고 써져 있는 스크린 
뭔가를 추가로 연결하는 것이기 때문에 내부는 isolated 된 상태에서 연결 시키고, 연결 된 부분을 진공 상태로 만들고 연결 부분과 중심 부분의 마개?를 열어야 했다. 
대출 어제 한 것이 이것이겠군. 
– 우선 Preparation Chamder의 pressure를 유지해야 하니까, Chamber랑 turbomolecular pump 사이에 plug?를 닫았다. 
– Turbomolecular pump 랑 backup pump 사이에 있는 pump도 닫은거 같다/ -> 근데 왜 닫았지? 다음에 물어봐야지 
– Turbomolecular 전원을 끄고 pump의 팬 돌아가는 속도가 낮아질 때 까지 기다린다. -> 10분정도만  기다리면 되긴 한다는데 우리는 이것 저것 하느라고 약 1시간 시간을 둔 듯 
– Evaporator안에 crucible에는 substrate에 deposition 할 분자 넣고 : 어제는 PFP랑 하나 더 있었는데 뭔지 잘 모르겠당. 
– Cu sealing 교체하고 (Cu sealing part 뜯을 때 가위로 뜯어야합니다. 손으로 뜯으면 구리가 휘어질 수 있어요. 안 휘어지는게 좋아요)
– 그리고 그냥 connect. (나사 조이면 되는데, Cu sealing 이니까 나사를 조일때 한 방향으로 돌아가면 서 조여야 함. 구리 실링에 좋은 점이 뭐였지?)
–> project lab report에서 –  The copper seals have advantages over the polymer seals as it can be
used with very high vacuums and high temperatures without the problem of water desorption into the vacuum or
heating damage. 
– plug 닫았던거 다시 다 여니까, Backing pump때문에 Evaporator Pressure 좀 낮아졌어, 한 수  mbar정도 되면 이미 turbo 킬 준비가 된 것 
– Turbomolecular pump 시작. 
– 키고 한 15분쯤 기다리니까 1.0E-5정도까지 내려감 -> 하루 뒤에 1.0E -7 정도로 내려가기를 기대했는데 어찌 됬는지는 모르겠다. 
Chamber 안에 이것저것 heating 하는 게 있어서 pressure가 그 영향을 받지요. 에를 들면 pressure 측정기는 전기 에너지를 이용해여 이온을 형성해서 Pressure 측정하는데 그 과정에서 열이 생긴다. 그리고 또 Evaporator 파트를 데우는게 있었어. 근데 이부분은 미리 데워놓은면 안 되는 거 아닌가? 분자가 다 날라갈 텐데? 다음에 물어봐야지. 
어찌되었든 측정기기 중에 열을 발생시키는것 + Preparation 과정으로 데워 놔야 하는 것 들 덕분에  chamber 내부의 온도가 올라가고 이는 내부 pressure을 올려. 
우리는 최대한 낮추고 싶지만 이 과정도 중요합니다. 왜냐하면 결국은 deposition 하고 측정하기 위해서는 위에서 이야기한 것들이 데워지는건 어쩔 수 없는데, 실험 할때 닥쳐서 저것들을 작동시키게 되면 그 기에서 desorption된 comtamination 분자들이 막상 molecular thin film 할 때 방해할 수 있다. 그러니까 미리 heating 시켜서 desorb 되야 할 molecules는 un-gassing? 하는 것이 좋습니다. 
 

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